产品一览表 分子泵   TYFB600   TYFB1200   TYFB1600   TYFB3600 分子泵电源   A1200   A1600   A3600 闸板阀   CZBF35   CZBF50   CZBF63   CZBF100   CZBF150   CZBF200   CZBF250

TYFB3600的外形尺寸 TYFB3600 性能参数表 数据名称 技术数据 高真空法兰(mm) 400 ISO-K 前级管道法兰(mm) 100 KF 抽气速 (L/S) 3600 压缩比 N2/H2 1E8:1 / 5E2:1 极限压强(Pa)帕 N2/H2 <2E-6 电机转数(n／min) 13500 振动值 ≤0.15μm 启动时间(min) <10 停止时间(min) <20 建议采用的前级泵 15-30 L／S 冷却方式 水冷 水冷冷却水温度 ≤20℃ 水冷冷却水流量(L/min) 1 泵体烘烤温度 <120℃ 加热器功率(w) <550 加热器输入电压(v) AC220 安装方向 垂直±5° 泵重量(kg) ≈100

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